在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是重要的。上海净化工程为您介绍洁净室工作人员应遵循的规程,有关服装和个人用品方面的要求,供读者参考。
无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求**A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
管理规范:
1、进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入,物料进入,各类设备的搬
入以及相关的设备,管线的维护管理,应做到不得将微粒,微生物带人洁净室
2、操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作的制作,穿着和其清洗,操作人员的移动和动作,室内设备及装修材料的选择和清扫,灭菌等,尽可能减少,防止洁净室内尘粒,微生物的产生,滞留,繁殖等
3、严格各类设备,设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备,设施按要求正常运转,包括净化系统,各类水,气,电系统,生产工艺设备和工具(工具夹)等,以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别
4、清扫,灭菌管理,对洁净室内的各类设备,设施的清扫,灭菌以及方法,周期和检查明确的规定,防止,梢除洁净室内尘粒,微生物的生产,滞留,繁殖
5、洁净室环境控制的内容包括:空气净化,洁净建筑,与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备,工具等的污染物控制以及微粒振动,噪音,静电的控制,防止等。
洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不易燃烧、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。